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普發(fā)PFEIFFER分子泵控制器維修驅(qū)動(dòng)器維修TC110

2023-2-3 13:11:12

PFEIFFER普發(fā)分子泵控制器維修驅(qū)動(dòng)器維修TC110

分子泵控制器維修范圍:

普發(fā)Pfeiffer, 萊寶Leybold,阿爾卡特 Alcatel ,愛發(fā)科ULVAC,愛德華Edwards ,瓦里安Varian,精工精機(jī)Seiko Seiki ,島津Shimadzu,安捷倫Agilen,大阪Osaka, 普旭Busch等真空渦輪分子泵,復(fù)合分子泵,磁懸浮分子泵,分子泵機(jī)組,分子泵電源,分子泵控制器,分子泵驅(qū)動(dòng)器,真空計(jì),真空顯示器,真空規(guī)管,真?zhèn)鞲衅,氦氣檢漏儀,質(zhì)譜儀的維修服務(wù),經(jīng)驗(yàn)豐富,檢測設(shè)備完備,有多種型號(hào)分子泵維修配件。

提供德國Pfeiffer普發(fā)分子泵/分子泵電源/分子泵控制器維修

普發(fā)Pfeiffer分子泵維修系列包括:TMH系列,TPH系列,TPU系列,TMU/TPD系列,HiPace系列,ATH/ATP系列等。

PFEIFFER普發(fā)分子泵維修常見問題:

1. 真空度正常, 分子泵可以達(dá)到全速, 但是噪音大

故障原因: 前級(jí)泵問題, 系統(tǒng)漏氣, 軸承問題, 轉(zhuǎn)速限定

建議: 分子泵運(yùn)行過3年, 可能內(nèi)部陶瓷球軸承已磨損, 建議送修檢測, 如果放任不管, 后續(xù)會(huì)磨損轉(zhuǎn)子, 對(duì)泵體內(nèi)部造成更嚴(yán)重的損傷;

2. 油棉污染: 油棉變黑, 發(fā)黃

建議: 3-4年更換分子泵油棉. Pfeiffer 復(fù)合軸承分子泵內(nèi)部陶瓷軸承采用油潤滑方式, 可以給軸承降溫, 減少軸承滾珠磨損并起到清洗分子泵軸承, 避免污染物附著在軸承上面, 有效延長分子泵的使用壽命.

3. 分子泵無法啟動(dòng): 用手撥動(dòng)葉片, 葉片無法轉(zhuǎn)動(dòng)

建議: 轉(zhuǎn)子已完全卡住, 建議立刻送修

4. 分子泵異響:

故障原因: 異物進(jìn)入, 陶瓷軸承磨損或損壞, 轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡問題, 前級(jí)泵返油; 工藝環(huán)境粉塵較多或有異物進(jìn)入分子泵時(shí), 會(huì)對(duì)旋轉(zhuǎn)的葉片和轉(zhuǎn)子造成很大損害

建議: 立即停機(jī)送修檢測

5. 分子泵無法達(dá)到全速, 真空度抽不下去

建議: 請(qǐng)檢查前級(jí)真空是否正常, 如果是分子泵組, 請(qǐng)先打開氣鎮(zhèn)閥抽一段時(shí)間后在觀察下, 無法解決問題建議立即送修檢測

6. 分子泵返油: 多數(shù)是由于前級(jí)泵返油導(dǎo)致, 建議立即送修檢測

7. 無法啟動(dòng): 沒有供電, 控制器沒有響應(yīng), 沒有收到啟動(dòng)信號(hào), 轉(zhuǎn)子卡住或軸承損壞

8. 常見分子泵控制器維修故障代碼

Err 006: 啟動(dòng)時(shí)間設(shè)定太短, 系統(tǒng)漏氣或放氣閥打開, 前級(jí)泵真空度問題

Err 021 / Err 108: 控制器問題

Err 117: 控制器問題, 冷卻問題, 系統(tǒng)漏氣

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