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20年 AXCELIS GSD200離子注入機(jī)loadlock控制器電路板維修

離子注入機(jī)由離子源、離子引入和質(zhì)量分析器、加速管、掃描系統(tǒng)和工藝腔組成，可以根據(jù)實(shí)際需要省去次要部位。離子源是離子注入機(jī)的主要部位，作用是把需要注入的元素氣態(tài)粒子電離成離子，決定要注入離子的種類和束流強(qiáng)度。離子源直流放電或高頻放電產(chǎn)生的電子作為轟擊粒子，當(dāng)外來電子高于原子的電離電位時，通過碰撞使元素發(fā)生電離。碰撞后除了原始電子外，還出現(xiàn)正電子和二次電子。正離子進(jìn)入質(zhì)量分析器選出需要的離子，再經(jīng)過加速器，由四級透鏡聚焦后進(jìn)入靶室，進(jìn)行離子注入。

離子注入機(jī)是集成電路制造前工序中的關(guān)鍵設(shè)備，離子注入是對半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進(jìn)行摻雜的技術(shù)，其目的是改變半導(dǎo)體的載流子濃度和導(dǎo)電類型。離子注入與常規(guī)熱摻雜工藝相比可對注入劑量、注入角度、橫向擴(kuò)散等方面進(jìn)行控制，克服了常規(guī)工藝，提高了電路的集成度、開啟速度、成品率和壽命，降低了成本和功耗。離子注入機(jī)用于摻雜工藝，可以滿足淺結(jié)、低溫和控制等要求，已成為集成電路制造工藝中可少的裝備。

具有主動輸出級電流源或匯的反應(yīng)或電阻性負(fù)載在整個輸出電壓范圍。這是必不可少的，以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的輸出響應(yīng)和高轉(zhuǎn)換率要求的反應(yīng)性負(fù)載。

常用的生產(chǎn)型離子注入機(jī)主要有三種類型：低能大束流注入機(jī)、高能注入機(jī)和中束流注入機(jī)，如下所示：

低能大束流離子注入機(jī)，0.2keV~100keV，超淺結(jié)、源漏注入、多晶硅柵注入等

高能離子注入機(jī)，~MEV，深埋層等

中束流離子注入機(jī)，幾百keV，柵閾值調(diào)整、輕摻雜漏區(qū)、SIMOX、Cut穿透阻擋層等

低能大束流離子注入機(jī)：大束流的注入機(jī)的束流可以達(dá)到幾毫安甚至幾十毫安。低于100keV，由于器件的特征尺寸不斷縮小，需要更低能的注入，以形成淺結(jié)或超淺結(jié)，有的大束流的注入機(jī)的低能可以達(dá)到0.2keV。

高能離子注入機(jī)：高能注入機(jī)可高達(dá)幾MeV。

中束流離子注入機(jī)：中束流注入機(jī)的注入在幾百keV范圍內(nèi)。

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