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dressler電源維修LFGS-1250C射頻電源維修

LFGS射頻發(fā)生器是用于半導(dǎo)體生產(chǎn)和一般等離子處理的多功能射頻發(fā)生器。此類可變頻率發(fā)生器采用了一種半橋、D類型放大器理念，是一種空冷式緊湊型的設(shè)計(jì)，可安裝在19英寸機(jī)架上面。應(yīng)用包括濺射、等離子蝕刻、化學(xué)氣象沉積、聚合以及表面處理設(shè)備上。

維修范圍：刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統(tǒng)，工業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源，烘干、塑化、硅晶體生長和平板顯示器領(lǐng)域應(yīng)用電源，直流偏壓和硬鍍膜，信息設(shè)備(ITE)及輕工業(yè)系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備。 從事大功率射頻RF電源及匹配器維修，為太陽能光伏、半導(dǎo)體、液晶面板、鍍膜行業(yè)維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP設(shè)備電源，包括直流、高壓、脈沖、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射頻電源維修。

測試一板上濾波電容上無380VDC電壓。VC，Vstart/control,C/RT波形以及V0波形均正常，測量場效應(yīng)功率開關(guān)管無V0波形，由于FA5331(PFC)為貼片元件，機(jī)器用久后出現(xiàn)V0端與板之間虛焊，V0信號沒有送到場效應(yīng)管。當(dāng)濾波電容上無380VDC左右電壓時(shí)，說明PFC電路沒有正常工作，PFC模塊關(guān)鍵檢測腳為電源輸入腳VC，啟動腳Vstart/control，C/RT腳及V0腳，將V0端與板上焊點(diǎn)焊好，用萬用表測量濾波電容有380VDC電壓。當(dāng)Vstart/control端為低電平時(shí)，PFC亦不能工作，則要檢測其端點(diǎn)與外部相連的有關(guān)電路。

額定驅(qū)動頻率一般都是大于負(fù)載所需要的驅(qū)動頻率的。這樣做雖然使電機(jī)提供足夠的驅(qū)動頻率，電機(jī)的正常運(yùn)作，但是其中有很大一部分的驅(qū)動頻率都會被浪費(fèi)掉，這就造成了大量的電力能源被浪費(fèi)，不能得到很好利用，不符合可持續(xù)發(fā)展的要求。為了節(jié)約電力，使電力得到充分利用的要求，電機(jī)變頻控制被開發(fā)了出來，電機(jī)變頻控制能夠根據(jù)負(fù)載所需要的驅(qū)動頻率來改變電機(jī)輸出的功率和電壓，不會有多余的驅(qū)動被浪費(fèi)，很好的提了電能的利用率，符合減排的要求。隨著我國對減排的要求越來越高，對于變頻控制系統(tǒng)的開發(fā)和研究也不斷的完善。

這個(gè)系統(tǒng)是一種典型的開環(huán)控制系統(tǒng)，這個(gè)系統(tǒng)能夠滿足大多數(shù)電機(jī)的平滑的變速要是，但是對于動態(tài)和靜態(tài)的調(diào)節(jié)性能都是有限的，不能應(yīng)用在對動態(tài)和靜態(tài)性能要求比較嚴(yán)格的地方。為了實(shí)現(xiàn)動態(tài)和靜態(tài)調(diào)節(jié)的高性能，我們只能采用閉環(huán)控制系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)。

所以提出了控制閉環(huán)轉(zhuǎn)差頻率的電機(jī)調(diào)速方式，這種調(diào)速方式能夠在靜態(tài)動態(tài)調(diào)速中到很高的性能，但是這種系統(tǒng)只能在轉(zhuǎn)速比較慢的電機(jī)中得到應(yīng)用，應(yīng)為在電機(jī)的轉(zhuǎn)速較高的時(shí)候，并且結(jié)構(gòu)簡單。這個(gè)系統(tǒng)應(yīng)用在風(fēng)機(jī)等大型的并且對于變頻系統(tǒng)的動態(tài)性能要求不是很高的地方。

射頻電源常見故障及維修:故障現(xiàn)象1:打開電源,電源指示燈不亮;故障現(xiàn)象2:電源燈亮了,預(yù)熱燈不亮;故障現(xiàn)象3:電源燈亮了,預(yù)熱燈亮、輝光亮,匹配器功率及反射功率電壓電流達(dá)不到等。

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